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晶圆装载机load port+foup 300mm（ID:938399）
| # | 文件名称 | 文件大小 |
|---|---|---|
| 1 | 1706793269422.rar | 3.48M |
| 2 | FOUP300.stp | 1.78M |
| 3 | FOUP300mm.SLDPRT | 695.94K |
| 4 | 主视图.png | 64.35K |
| 5 | 侧视图.png | 60.09K |
| 6 | 俯视图.png | 167.10K |
| 7 | 复件bottom_cover-2.SLDPRT | 31.97K |
| 8 | 复件bottom_plate-2.SLDPRT | 30.16K |
| 9 | 复件cid_plate-2.SLDPRT | 27.40K |
| 10 | 复件clamper-2.SLDPRT | 33.76K |
| 11 | 复件io_cover-2.SLDPRT | 32.69K |
| 12 | 复件kc_pin-2.SLDPRT | 25.26K |
| 13 | 复件latch_key-2.SLDPRT | 37.96K |
| 14 | 复件lens_g-2.SLDPRT | 25.64K |
| 15 | 复件lens_o-2.SLDPRT | 26.55K |
| 16 | 复件lens_plug-2.SLDPRT | 26.66K |
| 17 | 复件lens_r-2.SLDPRT | 26.41K |
| 18 | 复件lens_w-2.SLDPRT | 26.12K |
| 19 | 复件lens_y-2.SLDPRT | 25.83K |
| 20 | 复件main_base_plate-2.SLDPRT | 49.30K |
| 21 | 复件port_door-2.SLDPRT | 40.49K |
| 22 | 复件rear_unit-2.SLDPRT | 28.89K |
| 23 | 复件regi_pin-2.SLDPRT | 26.34K |
| 24 | 复件sensor_pin_unit-2.SLDPRT | 25.94K |
| 25 | 复件switch_plate-2.SLDPRT | 29.63K |
| 26 | 复件table-2.SLDPRT | 37.40K |
| 27 | 复件table_switch-2.SLDPRT | 25.95K |
| 28 | 复件top_cover-2.SLDPRT | 40.57K |
| 29 | 复件top_plate-2.SLDPRT | 29.02K |
| 30 | 复件vacuum_pad-2.SLDPRT | 25.79K |
| 31 | 效果图.png | 142.57K |
| 32 | 晶圆loadportfoup300mm.SLDASM | 706.98K |
| 33 | 晶圆loadportfoup300mm.STEP | 3.39M |
| 34 | 晶圆装卸机LoadPort.SLDASM | 440.78K |
| 35 | 轴测图.png | 89.60K |
此图纸下载需要150金币
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发布者
安静的灰狼
创作: 7
粉丝: 1
加入时间：2024-02-01
模型信息
图纸格式：stp,sldprt,sldasm,step
文件大小：3.56M
所需金币：150
上传时间：2024-02-01 21:14:35
是否可编辑：可修改，包括参数
版本：SOLIDWORKS 2021
标签
foup
loadport
晶圆
装载机
芯片
图纸简介
load port是安装在sorter前端的接口模块，是晶圆进出设备的通道，可与晶圆厂物料传输系统（AMHS）集成实现全自动化。通过Load port、机械臂与预对准器相配合实现对不同型号的晶圆进行分选作业，在保证高洁净度的情况下提升半导体制造工序的自动化程度
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