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半导体晶圆EFEM（ID:938466）
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| # | 文件名称 | 文件大小 |
|---|---|---|
| 1 | 17067942705719.rar | 5.81M |
| 2 | EFEM1.stp | 34.18M |
| 3 | EFEM320-D02.err | 17.86K |
| 4 | EFEM320-D02.pdf | 139.35K |
| 5 | 微信截图_20230613154649.png | 82.29K |
| 6 | 微信截图_20230613154711.png | 64.80K |
| 7 | 微信截图_20230613155257.png | 71.02K |
| 8 | 微信截图_20230613155341.png | 61.27K |
| 9 | 微信截图_20230613160313.png | 115.63K |
此图纸下载需要1500金币
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发布者
安静的灰狼
创作: 7
粉丝: 1
加入时间：2024-02-01
模型信息
图纸格式：stp,pdf
文件大小：5.95M
所需金币：1500
上传时间：2024-02-01 21:31:39
是否可编辑：可修改，不包括参数
版本：STEP
标签
半导体
芯片
EFEM
设备
loadport
图纸简介
晶圆移载系统(EFEM)是自动化系统，透过垂直整合，搭配自行研发之控制系统，能弹性选配Wafer ID读取、晶舟盒RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知、站点在席感测等周边配件进行规划，并依产品规格搭配对应款式之晶圆机器人，有效针对不同制程及应用的客户，提供客制化的服务，使客户的设备和制程更有效率及竞争力
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