探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统_SOLIDWORKS 2016_模型图纸下载

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探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统（ID:991987）

机械设备 / 非标机械 / 探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统

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平面图

3D视图

文件列表

#	文件名称	文件大小
1	17094783065120.zip	35.05M
2	上面.png	48.77K
3	下面.png	37.02K
4	前面.png	61.77K
5	后面.png	55.75K
6	18.18.28500mm.SLDPRT	162.21K
7	18.25.28500mm.SLDPRT	108.73K
8	AS1201-M5-F06.SLDPRT	88.77K
9	AWA5-25.SLDPRT	124.63K
10	BOX-NETW2.5.SLDPRT	60.36K
11	BOX-STWN10.SLDPRT	67.63K
12	BUR12.SLDPRT	220.50K
13	CFFAN3-6.SLDPRT	98.15K
14	EGH15CA导轨.SLDPRT	194.71K
15	EGH15CA滑块.SLDPRT	232.36K
16	EGH20SA导轨.SLDPRT	273.74K
17	EGH20SA滑块.SLDPRT	285.05K
18	FL684ZZ.SLDPRT	146.96K
19	FL686ZZ.SLDPRT	146.87K
20	GG1002丝杠.SLDPRT	116.83K
21	GG1002螺母.SLDPRT	119.84K
22	GG1505丝杠X轴.SLDPRT	101.81K
23	GG1505丝杠Y轴.SLDPRT	102.02K
24	GG1505螺母.SLDPRT	138.83K
25	KQ2H04-01S.SLDPRT	51.54K
26	KQ2L04-M5.SLDPRT	100.14K
27	LMU4.SLDPRT	91.65K
28	MSMD022G1U200WPanasonic.SLDPRT	208.78K
29	MSMD042G1U400WPanasonic.SLDPRT	227.73K
30	PACK-WVWS-V3-D8.SLDPRT	113.51K
31	PM-L44.SLDPRT	150.60K
32	R8-1.0T3-FSI-70-105-0.008.SLDPRT	95.79K
33	RA11008UUCC0.SLDPRT	197.46K
34	SCPS21-6-8.SLDPRT	311.65K
35	SCPW34-10-11.SLDPRT	262.01K
36	SCPW34-10-14.SLDPRT	326.83K
37	SV3050-7Z-P.SLDPRT	112.39K
38	UR6-40.SLDPRT	911.88K
39	UY5-20.SLDPRT	493.00K
40	VKF332V-5G-M5.SLDPRT	160.13K
41	VV3KF3-20-02.SLDPRT	70.28K
42	XYtable固定件.SLDPRT	105.96K
43	XY板.SLDPRT	870.35K
44	X向防尘罩.SLDPRT	117.17K
45	X板.SLDPRT	364.65K
46	X轴拖链安装支架1.SLDPRT	113.52K
47	X轴拖链支架2.SLDPRT	104.38K
48	X轴旗杆.SLDPRT	88.26K
49	X防尘罩侧安装板1.SLDPRT	148.67K
50	X防尘罩侧安装板2.SLDPRT	174.36K
51	X防尘罩安装板1.SLDPRT	123.30K
52	X防尘罩安装板2.SLDPRT	106.62K
53	X限位块1.SLDPRT	72.45K
54	X限位块2.SLDPRT	71.95K
55	Y向防尘罩1.SLDPRT	115.49K
56	Y向防尘罩2.SLDPRT	110.41K
57	Y缓冲块1.SLDPRT	67.19K
58	Y缓冲块2.SLDPRT	71.17K
59	Y轴底座.SLDPRT	438.59K
60	Y轴拖链安装支架.SLDPRT	87.76K
61	Y轴旗杆.SLDPRT	88.99K
62	Y轴轴承压盖.SLDPRT	121.70K
63	Y轴轴承调整环.SLDPRT	108.73K
64	Y防尘罩安装板1.SLDPRT	111.27K
65	Y防尘罩安装板2.SLDPRT	93.02K
66	ZFC100-04B.SLDPRT	114.46K
67	ZSE30-C4L-25-A-Q.SLDPRT	142.81K
68	Z轴感应片.SLDPRT	71.84K
69	Z轴承座.SLDPRT	206.53K
70	Z轴组件.SLDASM	3.09M
71	Z轴轴承压盖.SLDPRT	134.27K
72	Z轴轴承调整环.SLDPRT	113.45K
73	Z轴连接座.SLDPRT	209.82K
74	Z轴锁紧螺母.SLDPRT	139.90K
75	上基板支撑块.SLDPRT	252.50K
76	上旋转轴.SLDPRT	122.31K
77	东方马达CMK244MAP.SLDPRT	101.51K
78	东方马达CRK564MAPB.SLDPRT	137.58K
79	丝杆固定法兰.SLDPRT	102.97K
80	丝杆螺母固定板.SLDPRT	125.56K
81	丝杆限位档板.SLDPRT	70.82K
82	丝杠直线角度转换机构-000T.SLDASM	1.07M
83	传感器PM-L24.SLDPRT	78.77K
84	内圈压盖.SLDPRT	136.25K
85	前旋转下座.SLDPRT	121.67K
86	前旋转座.SLDPRT	90.88K
87	升降导轨安装板右.SLDPRT	159.86K
88	升降导轨安装板左.SLDPRT	148.51K
89	升降底座.SLDPRT	236.09K
90	后旋转下座.SLDPRT	123.59K
91	后旋转座.SLDPRT	128.54K
92	后旋转座垫片.SLDPRT	59.92K
93	外圈压盖.SLDPRT	144.10K
94	大理石底板.SLDPRT	85.24K
95	导向轴固定板.SLDPRT	122.63K
96	感应器保护罩.SLDPRT	75.99K
97	承片台.SLDPRT	456.78K
98	承片台安装板.SLDPRT	118.31K
99	承片台旋转顶升系统-000T.SLDASM	3.68M
100	摆杆.SLDPRT	152.82K
101	摆杆垫片.SLDPRT	56.98K
102	支点1固定轴.SLDPRT	89.83K
103	支点2固定轴.SLDPRT	74.97K
104	支点3固定轴.SLDPRT	78.00K
105	支点3垫片.SLDPRT	55.55K
106	旋转丝杆螺母.SLDPRT	104.40K
107	旋转座.SLDPRT	465.58K
108	旋转旗杆.SLDPRT	89.73K
109	旋转旗杆2.SLDPRT	89.88K
110	旋转组件.SLDASM	1.27M
111	旋转轴.SLDPRT	92.33K
112	旋转轴锁紧螺帽.SLDPRT	104.75K
113	旋转轴防尘罩.SLDPRT	147.45K
114	旋转顶升系统-000T.SLDASM	2.92M
115	旋转马达座.SLDPRT	215.87K
116	晶圆承片台XY系统-000T.SLDASM	2.14M
117	晶圆承片台及其旋转顶升系统-000T.SLDASM	4.94M
118	直线轴承垫片.SLDPRT	163.50K
119	联轴器MCGLC13_5_5.sldprt	274.83K
120	花键对接法兰.SLDPRT	323.93K
121	螺母座.SLDPRT	159.85K
122	锁紧螺母.SLDPRT	134.52K
123	阀组件.SLDASM	205.32K
124	顶针.SLDPRT	32.27K
125	顶针安装座.SLDPRT	301.85K
126	顶针导向轴.SLDPRT	64.66K
127	顶针旋转座.SLDPRT	341.73K
128	风扇.SLDPRT	196.00K
129	风扇支架.SLDPRT	229.50K