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半导体晶圆EFEM（ID:938478）
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| # | 文件名称 | 文件大小 |
|---|---|---|
| 1 | 17067943046622.rar | 25.31M |
| 2 | EFEM3.SLDPRT | 25.03M |
| 3 | EFEM320-D03.err | 120.03K |
| 4 | EFEM320-D03.pdf | 169.98K |
| 5 | 侧视图.png | 105.75K |
| 6 | 俯视图.png | 70.11K |
| 7 | 微信截图_20230613171422.png | 110.20K |
| 8 | 装配体.png | 157.10K |
此图纸下载需要1500金币
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发布者
安静的灰狼
创作: 7
粉丝: 1
加入时间：2024-02-01
模型信息
图纸格式：sldprt,pdf
文件大小：25.92M
所需金币：1500
上传时间：2024-02-01 21:34:25
是否可编辑：可修改，不包括参数
版本：SOLIDWORKS 2016
标签
半导体
晶圆
EFEM
设备
loadport
图纸简介
晶圆移载系统(EFEM)是自动化系统，透过垂直整合，搭配自行研发之控制系统，能弹性选配Wafer ID读取、晶舟盒RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知、站点在席感测等周边配件进行规划，并依产品规格搭配对应款式之晶圆机器人，有效针对不同制程及应用的客户，提供客制化的服务，使客户的设备和制程更有效率及竞争力
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